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进口真空泵如何选型
2021-11-01

1、进口真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如,真空涂层需要1×10-5mmHg的真空,并且所选真空泵的真空必须至少为5×10-6mmHg。泵的真空通常选择为比真空设备的真空高一半数量级。  

2、正确选择进口真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg。在如此宽的压力范围内,泵的泵送速度随压力变化,其稳定的工作压力范围为5×10。 -4〜5×10-6mmHg。因此,泵的工作点应在此范围内选择,不应在10-8mmHg下长时间工作。另一个例子是钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压力应小于1×10-5mmHg。  

3、进口真空泵应能够在其工作压力下去除真空设备过程中产生的所有气体。  

4、正确组合真空泵。由于真空泵具有选择性泵送,有时泵不能满足泵送要求,并且需要将多个泵组合以相互补充以满足泵送要求。例如,钛升华泵对氢气具有高抽速,但不能泵送,并且三极溅射离子泵(或双极不对称阴极溅射离子泵)对氩气具有一定的抽速。组合时,真空装置将具有更好的真空。另外,有些真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;一些真空泵出口压力低于大气压力,需要前级泵,因此需要将泵组合在一起。

5、真空设备的油污要求。如果设备严格要求无油,则应选择各种无油泵,如:水环泵,分子筛吸附泵,溅射离子泵,低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些油污措施,如加入冷阱,挡板,油阱等,也可以达到清洁真空要求。

6、了解要泵送的气体的成分。该气体不含可凝结的蒸气,没有颗粒粉尘,也没有腐蚀性。选择真空泵时,您需要知道气体成分并为泵送气体选择合适的泵。如果气体中含有蒸汽,微粒和腐蚀性气体,请考虑在泵的入口管道上安装冷凝器,除尘器等辅助设备。

7、真空泵的油蒸汽如何影响环境?如果环境不允许污染,您可以选择无油真空泵或将油蒸汽排放到外面。

8、当th时产生的振动真空泵的工作对过程和环境没有影响。如果过程不允许,请选择无振动泵或采取防振措施。

9、进口真空泵的价格,运行和维护成本。

水环真空泵选择

首先,泵确定类型 

类型主要由工作所需的空气量,真空量或排气压力决定。

当进口真空泵工作时,需要注意以下两个方面:

1.应尽可能在高效区域,即临界真空或临界排气压力区域内运行。

2.避免在最大真空或最大排气压力附近操作。在该区域中操作不仅效率极低,而且不稳定且易于振动和噪音。对于具有高真空度的真空泵,在该区域经常发生空化,并且这种现象的明显迹象是泵中的噪声和振动。气蚀会导致泵体和叶轮等部件损坏,导致泵无法工作。

根据上述原理,当泵所需的真空或气体压力不高时,可以首先在单级泵中选择。如果真空度或排气压力高,则单级泵通常不能满足,或者要求泵在较高真空下具有较大的体积,也就是说,性能曲线要求平坦。真空度更高,两个是可选的。阶段泵。如果要求真空度高于-710mmHg,则使用可选的水环 - 气氛泵或水环 - 罗茨真空装置作为真空装置。

如果它仅用作真空泵,最好使用单作用泵。由于单作用泵结构简单,易于制造和维护,并且在高真空条件下具有良好的抗气蚀性。

如果仅使用大容量压缩机,则更适合使用双作用泵。由于双作用泵气量大,体积小,重量轻,径向力可自动平衡,轴不易疲劳断裂,泵使用寿命长。  

二,根据系统所需的气体量选择真空泵

在初始选择泵类型后,对于进口真空泵,还根据系统所需的气体量选择泵模型。



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