轮廓测量仪CD 140，CD280

轮廓测量仪MARSURF CD 140/280

产品特点

1、快速测轴

2、高度灵活的智能测头系统   

3、创新的工件固定系统

技术参数
1、测杆长度：210 mm; 350 mm; 490 mm

2、测量速度：0.02 - 10 mm/s

3、扫描长度末尾（X 方向）:280 mm

4.分辨率:最高 6 nm（210 mm 测杆）

5、扫描长度开始（X 方向）：0.1 mm

6、定位速度：0.02 - 200 mm/s (X)

7、测量范围 mm：70 mm（Z 方向，350 mm 测杆），最高 100 mm（490 mm 测杆）

8、测量力 (N)：Z+ 和 Z- 方向 4 mN 至 30 mN，可通过软件调整